KLA-Tencor AIT I 晶圓檢測(cè)儀

是一種用于檢測(cè)圖案化晶圓表面缺陷的系統(tǒng)。該系統(tǒng)配置為處理6英寸（150毫米）和8英寸（200毫米）的晶圓，并具備自動(dòng)對(duì)焦和雙暗場(chǎng)檢查功能。此外，它還配備了多通道采集光學(xué)系統(tǒng)、獨(dú)立可編程的空間濾波器以及X/Y驅(qū)動(dòng)/控制器機(jī)架和運(yùn)動(dòng)控制器卡。

AIT I 系統(tǒng)是一種高速晶圓測(cè)試和計(jì)量系統(tǒng)，旨在檢測(cè)即使是最小的、可能降低產(chǎn)量的隱形對(duì)眼缺陷，從而為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供更好的質(zhì)量控制和更高的產(chǎn)量。這種系統(tǒng)的使用可以顯著提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，確保在生產(chǎn)過程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修復(fù)潛在問題。

KLA-Tencor AIT I 的主要特點(diǎn)包括：

- 處理6英寸和8英寸晶圓的能力。

- 配備多通道采集光學(xué)系統(tǒng)和獨(dú)立可編程的空間濾波器。

- 自動(dòng)對(duì)焦和雙暗場(chǎng)檢查功能。

- 提供高精度的缺陷檢測(cè)能力，能夠快速準(zhǔn)確地識(shí)別并分類各種類型的缺陷。

這些特性使得KLA-Tencor AIT I 成為半導(dǎo)體制造中的重要工具，幫助制造商提高良率和生產(chǎn)效率。