顆粒檢測儀

簡要描述：KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該設(shè)備由KLA-Tencor公司生產(chǎn)，具有多種功能和特點。
功能與應(yīng)用：
表面分析：SFS6420是一種多功能的表面分析工具，能夠檢測、計數(shù)和測量亞微米級顆粒，適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。
缺陷檢測：該系統(tǒng)可以進行高分辨率的缺陷檢測，包括掩模對準(zhǔn)和覆蓋精度的檢測。

產(chǎn)品型號：SFS6420
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新日期：2025-03-26
訪問量：477

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產(chǎn)品分類

CLASSIFICATION

光學(xué)儀器及設(shè)備

光學(xué)顯微鏡光學(xué)計量儀晶圓檢測儀顆粒檢測儀橢圓偏光儀薄膜厚度測試儀電子顯微鏡

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詳細(xì)介紹

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀

產(chǎn)品概述

名稱：KSLA-Tencor SFS6420

制造商：KLA-Tencor

尺寸：8英寸

主要功能

粒子檢測與計數(shù)

用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細(xì)度

表面分析工具

設(shè)計用于滿足廣泛應(yīng)用的需求

利用最新光學(xué)技術(shù)，易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

高速自動化測試

能實時分析現(xiàn)場條件，適用于在線和離線應(yīng)用

每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力

技術(shù)特點

多傳感器技術(shù)

提供創(chuàng)新的特性，如多傳感器技術(shù)

實時信息提供

通過統(tǒng)計分析和趨勢分析為用戶提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的實時信息

應(yīng)用領(lǐng)域

晶圓檢測系統(tǒng)

用于監(jiān)控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

與KLA-Tencor的其他設(shè)備兼容，用于PCB組裝板下的WFR檢測

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